[发明专利]用于筛选Wafer中不良Die的测试系统和方法有效
| 申请号： | 201910802816.9 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN110544505B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 杨林英;陈道华 | 申请（专利权）人： | 深圳忆联信息系统有限公司 |
| 主分类号： | G11C29/56 | 分类号： | G11C29/56;G11C29/50 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 518067 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种用于筛选Wafer中不良Die的测试系统、方法、计算机设备及存储介质，其中该系统包括：测试主机、传输卡、多个测试卡以及探针卡；其中，所述测试主机通过串口与传输卡通讯用于获取每个测试卡上每个测试通道的测试结果；所述传输卡用于给所述多个测试卡供电，所述多个测试卡与所述测试主机是通过传输卡的串口进行通讯；所述测试卡都可以用于测试多个通道，每个通道上的信号以及电源都是通过所述探针卡连接到对应待测试的Wafer。本发明中的测试系统以及方法可以直接应用于自动化平台上，并且能实现多个通道的自动测试，可以有效地提升测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 筛选 wafer 不良 die 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于筛选Wafer中不良Die的测试系统，其特征在于，所述系统包括：测试主机、传输卡、多个测试卡以及探针卡；/n其中，所述测试主机通过串口与传输卡通讯用于获取每个测试卡上每个测试通道的测试结果；/n所述传输卡用于给所述多个测试卡供电，所述多个测试卡与所述测试主机是通过传输卡的串口进行通讯；/n所述测试卡都可以用于测试多个通道，每个通道上的信号以及电源都是通过所述探针卡连接到对应待测试的Wafer。/n
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