[发明专利]一种PH传感器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910803782.5 申请日: 2019-08-28
公开(公告)号: CN110514652B 公开(公告)日: 2022-02-22
发明(设计)人: 倪柳松;胡迎宾;宋威;刘冲冲;王明;赵策;闫梁臣 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
主分类号: G01N21/76 分类号: G01N21/76;H01L27/144
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 李欣
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及检测设备技术领域,公开了一种PH传感器及其制备方法,该PH传感器包括:衬底基板,依次形成于衬底基板一侧的有机磷光材料层、遮光金属层、缓冲层、薄膜晶体管器件层、钝化层、平坦层、阳极、发光层、阴极和封装层,其中,与有机磷光材料层相对的部位的薄膜晶体管器件层为光敏薄膜晶体管器件层,衬底基板与光敏薄膜晶体管器件层相对的部位形成有多个气体进入通道;衬底基板背离有机磷光材料层的一侧设置有用于激发有机磷光材料层的光源。该PH传感器实现了对环境空气的PH值的可视化检测,且该PH传感器检测方便,操作简单。
搜索关键词: 一种 ph 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种PH传感器,其特征在于,包括:/n衬底基板;/n形成于所述衬底基板一侧的有机磷光材料层和遮光金属层;/n形成于所述遮光金属层和所述有机磷光材料层背离所述衬底基板一侧的缓冲层;/n形成于所述缓冲层背离所述衬底基板一侧的薄膜晶体管器件层,其中,与所述有机磷光材料层相对的部位的薄膜晶体管器件层为光敏薄膜晶体管器件层,所述衬底基板与所述光敏薄膜晶体管器件层相对的部位形成有多个气体进入通道;/n依次形成于所述薄膜晶体管器件层背离衬底基板一侧的钝化层、平坦层、阳极、发光层、阴极和封装层;/n设置于所述衬底基板背离所述有机磷光材料层和遮光金属层一侧、用于激发所述有机磷光材料层的光源。/n
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