[发明专利]一种机台压力监控系统有效
| 申请号： | 201910803990.5 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN110595666B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 潘玉妹;詹冬武;潘国卫;姚融 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01L11/00 | 分类号： | G01L11/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李洋;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种机台压力监控系统，所述系统包括：具有第一数量的机台，所述机台为常压机台，所述第一数量大于3；具有第二数量的压力感应器，所述第二数量大于等于3且小于所述第一数量；在所述机台中具有被选择的第二数量的机台，所述第二数量的压力感应器分别设置在所述被选择的第二数量的机台上；数据采集装置，用于按照预设规则对所述压力感应器上的压力数据进行采集，得到第一数据；数据显示装置，用于显示第二数据；所述第二数据是基于所述第一数据生成的，所述第二数据用于表征所述具有第一数量的机台的压力状况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机台 压力 监控 系统 | ||
【主权项】：
1.一种机台压力监控系统，其特征在于，所述系统包括：/n具有第一数量的机台，所述机台为常压机台，所述第一数量大于3；/n具有第二数量的压力感应器，所述第二数量大于等于3且小于所述第一数量；/n在所述机台中具有被选择的第二数量的机台，所述第二数量的压力感应器分别设置在所述被选择的第二数量的机台上；/n数据采集装置，用于按照预设规则对所述压力感应器上的压力数据进行采集，得到第一数据；/n数据显示装置，用于显示第二数据；所述第二数据是基于所述第一数据生成的，所述第二数据用于表征所述具有第一数量的机台的压力状况。/n
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