[发明专利]一种感光性树脂组合物

摘要

本发明公开了一种感光性树脂组合物。该树脂组合物包括40～70重量份的碱可溶性树脂、10～50重量份的光聚合单体、0.5～10.0重量份光引发剂和0.1～10.0重量份添加剂，所述碱可溶性树脂含有10～35质量％的来自(甲基)丙烯酸的结构单元、10～50质量％的来自(甲基)丙烯酸酯的结构单元、5～25质量％的来自(甲基)丙烯酰胺衍生物的结构单元、10～45质量％的苯乙烯衍生物的结构单元。本发明感光性树脂组合物用作干膜抗蚀剂，具有优异的线路附着力和分辨率，退膜干净、退膜速度快，有助于避免电镀夹膜、退膜残留等问题，提升生产良率。

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，该树脂组合物包括40～70重量份的碱可溶性树脂、10～50重量份的光聚合单体、0.5～10.0重量份光引发剂和0.1～10.0重量份添加剂，所述碱可溶性树脂含有通式（1）10～35质量％的来自(甲基)丙烯酸的结构单元、通式（2）10～50质量％的来自(甲基)丙烯酸酯的结构单元、通式（3）5～25质量％的来自(甲基)丙烯酰胺衍生物的结构单元、通式（4）10～45质量％的苯乙烯衍生物的结构单元；/n通式（1），通式（2），/n通式（3），通式（4），/n其中，通式（1）（2）（3）（4）中，R1、R2、R4、R7分别独立地选自氢原子、甲基；R3选自碳原子数为6～10的芳基、苄基、苯乙基、苯丙基、碳原子数1～10的直链或支链烷基、C3～C10的环烷基、C4～C14的烷基环烷基或环烷基烷基；R5、R6分别独立地选自氢原子、苄基、苯基、环己基、碳原子数1～10的直链或支链烷基且这些基团中的-CH₂-（与N直接相连的-CH₂-除外）可任选地被-O-所取代、二甲氨基乙基、二甲氨基丙基、二甲氨基丁基、二乙氨基乙基、二乙氨基丙基、或者二乙氨基丁基。/n