[发明专利]MEMS传声器有效
| 申请号： | 201910806650.8 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN110876107B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 上岛聪史;井上亨 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的MEMS传声器(10)包括基板(20)以及设置在基板(20)上、将声音转换成电信号的第1转换部(10A)和第2转换部(10B)，第1转换部(10A)具有第1贯通孔(21A)、覆盖第1贯通孔(21A)的第1膜片(30A)和隔着第1气隙(G1)与第1膜片(30A)面对面的第1背板(40A)，第2转换部(10B)具有第2贯通孔(21B)、覆盖第2贯通孔(21B)的第2膜片(30B)和隔着第2气隙(G2)与第2膜片(30B)面对面的第2背板(40B)，在基板(20)的厚度方向上，第2气隙(G2)的尺寸(T2)大于第1气隙(G1)的尺寸(T1)。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传声器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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