[发明专利]集成无源耦合器和方法

摘要

一种集成电路包括半导体衬底和位于所述衬底上的无源耦合器。所述耦合器包括螺线管。所述耦合器还包括穿过所述螺线管的信号线。一种制造集成电路的方法。所述方法包括提供半导体衬底并在所述衬底上的金属化堆叠中形成无源耦合器。在所述衬底上的所述金属化堆叠中形成所述无源耦合器包括使用所述金属化堆叠的多个金属层中的图案化金属特征形成所述螺线管的一个或多个绕组。在所述衬底上的所述金属化堆叠中形成所述无源耦合器还包括使用所述金属化堆叠的一个或多个金属层中的一个或多个图案化金属特征形成信号线。所述信号线穿过所述螺线管。