[发明专利]一种超薄扇出型封装结构及其制作方法在审

专利信息
申请号: 201910807724.X 申请日: 2019-08-29
公开(公告)号: CN110634838A 公开(公告)日: 2019-12-31
发明(设计)人: 李恒甫;曹立强 申请(专利权)人: 上海先方半导体有限公司
主分类号: H01L23/538 分类号: H01L23/538;H01L23/31;H01L25/00;H01L25/16;H01L25/18;H01L21/56;H01L21/768
代理公司: 11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 代理人: 宋傲男
地址: 200131 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 本申请提供一种超薄扇出型封装结构及其制作方法。上述超薄扇出型封装结构包括:背面相互贴合的第一芯片和第二芯片,所述第一芯片背面的衬底经过减薄处理;塑封体,所述塑封体包封所述第一芯片和所述第二芯片;重布线结构,设置在所述塑封体靠近所述第一芯片的一侧,所述重布线结构分别与所述第一芯片和第二芯片电连接。本申请提供的超薄扇出型封装结构,通过将第一芯片、第二芯片背面相互贴合,并至少对第一芯片背面的衬底进行减薄处理,通过塑封体包封第一芯片和第二芯片,且与重布线结构连接,大大减小了封装结构整体的厚度,实现了高密度的超薄扇出型封装,有利于尺寸更小的电子产品的加工与生产。
搜索关键词: 芯片 扇出型封装 塑封体 重布线 减薄处理 包封 衬底 贴合 芯片电连接 封装结构 结构连接 芯片背面 电子产品 减小 申请 背面 加工 制作 生产
【主权项】:
1.一种超薄扇出型封装结构,其特征在于,包括:/n背面相互贴合的第一芯片(1)和第二芯片(2),所述第一芯片(1)背面的衬底经过减薄处理;/n塑封体(3),所述塑封体(3)包封所述第一芯片(1)和所述第二芯片(2);/n重布线结构,设置在所述塑封体(3)靠近所述第一芯片(1)的一侧,所述重布线结构分别与所述第一芯片(1)和第二芯片(2)电连接。/n
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