[发明专利]抛光组合物及其使用方法有效
| 申请号： | 201910812800.6 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN111334193B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | C·巴列斯特罗斯;A·米什拉;E·特纳 | 申请（专利权）人： | 富士胶片电子材料美国有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 韩果 |
| 地址： | 美国罗*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本公开涉及一种抛光组合物，包括至少一种磨料；至少一种氮化物去除率降低剂；酸或碱；以及水。所述至少一种氮化物去除率降低剂可包括疏水部分和亲水部分，其中所述疏水部分含有C |
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| 搜索关键词： | 抛光 组合 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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