[发明专利]一种激光准直收发一体式直线度测量的标定系统及方法在审
| 申请号： | 201910812967.2 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN110455226A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 段发阶;张聪;傅骁;刘文正;苏宇浩;鲍瑞伽 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27 |
| 代理公司： | 12201 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 刘子文<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开一种激光准直收发一体式直线度测量的标定系统及方法。标定系统包括直线度测量机构、激光干涉仪激光头、激光干涉仪干涉镜、激光干涉仪角锥棱镜和位移台，直线度测量机构由激光器、二维位置探测器、固定端基座和角锥棱镜组成，激光器和二维位置探测器均固定在固定端基座上，激光器的出射激光照射到角锥棱镜，经过角锥棱镜后的回射激光照射到二维位置探测器上，所述角锥棱镜放置于位移台上；激光干涉仪角锥棱镜放置于位移台上，位移台能够沿x方向水平移动，激光干涉仪干涉镜放置在激光干涉仪激光头与激光干涉仪角锥棱镜之间，使激光干涉仪激光头内激光干涉从而实现位移台的位移测量。 | ||
| 搜索关键词： | 激光干涉仪 角锥棱镜 直线度测量 二维位置 激光器 激光头 位移台 探测器 标定系统 激光照射 干涉镜 固定端 收发一体式 方向水平 激光干涉 激光准直 位移测量 出射 回射 移动 | ||
【主权项】：
1.一种激光准直收发一体式直线度测量的标定系统，其特征在于，包括直线度测量机构、激光干涉仪激光头(7)、激光干涉仪干涉镜(8)、激光干涉仪角锥棱镜(9)和位移台(12)，所述直线度测量机构由激光器(1)、二维位置探测器(2)、固定端基座(3)和角锥棱镜(4)组成，激光器(1)和二维位置探测器(3)均固定在固定端基座(3)上，激光器(1)的出射激光(5)照射到角锥棱镜(4)，经过角锥棱镜(4)后的回射激光(6)照射到二维位置探测器(2)上，所述角锥棱镜(4)放置于位移台(12)上；/n激光干涉仪角锥棱镜(9)放置于位移台(12)上，位移台(12)能够沿x方向水平移动，激光干涉仪激光头(7)的出射激光(10)与坐标系x方向平行并照射到激光干涉仪角锥棱镜(9)上，经过激光干涉仪角锥棱镜(9)的回射激光(11)被激光干涉仪激光头(7)接收，激光干涉仪干涉镜(8)放置在激光干涉仪激光头(7)与激光干涉仪角锥棱镜(9)之间，使激光干涉仪激光头(7)内激光干涉从而实现位移台(12)的位移测量；位移台(12)沿x方向运动能够实现标定二维位置探测器(2)的x方向，将二维位置探测器(2)旋转90°后能够实现标定二维位置探测器(2)的z方向。/n
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