[发明专利]消音结构、消音装置、包含运动台的设备以及光刻设备有效
| 申请号： | 201910816608.4 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN112447160B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 杜碧 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G10K11/16 | 分类号： | G10K11/16;G10K11/168;G10K11/172;G10K11/04;G03F7/20;B32B15/04;B32B3/26 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种消音结构、消音装置、包含运动台的设备与光刻设备。所述消音结构包括框架，框架的内部形成有气流通道，气流通道的内部设置有阻性消声单元、分流消声单元和微穿孔消声单元；阻性消声单元包括至少一层金属层和至少一层吸声材料，在气流通道的内壁与金属层之间设置吸声材料，且吸声材料覆盖气流通道的所有内壁；分流消声单元包括分流柱和形成于气流通道内的分流腔，分流柱横置于分流腔内，以将分流腔分隔成至少两个长度不相同的通道；微穿孔消声单元包括至少一层微穿孔板以及形成于气流通道内的容置腔，至少一层微穿孔板横置于容置腔内并在微穿孔板后留有空腔；这样做的目的是提高消音效果并降低气流扰动。 | ||
| 搜索关键词： | 消音 结构 装置 包含 运动 设备 以及 光刻 | ||
【主权项】：
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