[发明专利]一种基于GDSII格式的直写式光刻机并行数据处理方法

摘要

一种基于GDSII格式的直写式光刻机并行数据处理方法，可解决现有的DMD数字微镜均采用是FPGA进行逻辑运算，若提供的直写式光刻数据采用极性特性，并且按照一定顺序的方式进行处理，很难发挥出FPGA的优势，进而降低了直写式光刻机的产能的技术问题。本发明通过对光刻图形进行数据转换成GDSII格式数据，利用GDSII图形格式，没有极性，没有叠加顺序，基础图形单元可以进行切割，重组等特性，使得每个DMD数字微镜对应的数据处理单元可以并行处理数据，从而达到DMD之间的并行。同时因为每个DMD所需曝光的GDSII数据，因为基础图形可以进行切割和重组，利用CUDA和FPGA的并行特征，对这些数据进行并行处理，从而大大提高直写式光刻机的光刻版图在数据处理上的时间，从而提升了产能。

主权项

1.一种基于GDSII格式的直写式光刻机并行数据处理方法，其特征在于：包括以下步骤：/nS100、对光刻图形进行数据转换成GDSII格式数据；/nS200、读取GDSII格式数据，得到所述光刻图形的宽W和高H；/nS300、根据直写式光刻机系统所使用的DMD的个数N，以及每个DMD相互之间的中心间距，对所述光刻图形进行切割，则得到每个DMD需要完成的曝光图形宽度；/nS400、将每个DMD需要完成的曝光图形数据，发送至与DMD对应的数据处理单元；/nS500、数据处理单元对接收到的GDSII的轮廓数据进行并行处理，对其中的基础结构的数据进行三角分解，使得每个基础图形都由三角形组成；/nS600、使用CUDA对三角化的基础结构数据，进行切割，得到每一帧的图形数据，将原有的三角形数据转换为凸四边形数据；并将凸四边形数据，发送到FPGA；/nS700、FPGA逻辑处理单元，通过多线程对凸四边形数据进行填充，得到填充后的G阶灰度数据,其中G取值为大于0的自然数；/nS800、将G阶灰度数据发送到DMD进行显示。/n