[发明专利]一种具有高深镀能力的VCP镀铜光亮剂及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910817442.8 申请日: 2019-08-30
公开(公告)号: CN110453255B 公开(公告)日: 2020-10-09
发明(设计)人: 丁先峰;李良华;余显超 申请(专利权)人: 广州皓悦新材料科技有限公司
主分类号: C25D3/38 分类号: C25D3/38;C25D7/00
代理公司: 佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙) 44387 代理人: 曾凤云
地址: 510700 广东省广州*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种具有高深镀能力的VCP镀铜光亮剂,包括如下含量的组分:4~6g/L的分散剂、80~100g/L的聚乙二醇、7~8g/L的主光剂、7~9g/L的碱性黄、1~3g/L的甲醛、1~2g/L的硫酸铜、0.5~0.6g/L的硫酸、2~5g/L的湿润剂、4~6g/L的苯基二硫丙磺酸钠、8~9g/L的整平剂、1~2g/L的硫酸铁、余量的去离子水。本发明的镀铜光亮剂在电镀作业时电流密度密度可达到40ASF,镀层均匀性可达到90%以上。加入的硫酸铁改善了镀铜的深镀能力,提高了电流效率,生产效率等,深度能力:8:1,纵横比可达到85%。
搜索关键词: 一种 具有 高深 能力 vcp 镀铜 光亮剂 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种具有高深镀能力的VCP镀铜光亮剂,其特征在于,包括如下含量的组分:/n4~6g/L的分散剂、80~100g/L的聚乙二醇、7~8g/L的主光剂、7~9g/L的碱性黄、1~3g/L的甲醛、1~2g/L的硫酸铜、0.5~0.6g/L的硫酸、2~5g/L的湿润剂、4~6g/L的苯基二硫丙磺酸钠、8~9g/L的整平剂、1~2g/L的硫酸铁、余量的去离子水。/n
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