[发明专利]一种显示面板及套刻精度测量方法、显示装置有效
申请号: | 201910818423.7 | 申请日: | 2019-08-30 |
公开(公告)号: | CN110534501B | 公开(公告)日: | 2021-03-12 |
发明(设计)人: | 刘兴华;王中来;晁伟;葛丰 | 申请(专利权)人: | 合肥维信诺科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544;G03F7/20 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 范坤坤 |
地址: | 230012 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种显示面板及套刻精度测量方法、显示装置,其中,显示面板包括:衬底和形成在衬底上的多层外延层;形成在基准层的上的前层测量标记;基准层为衬底或多层外延层中的一层;形成在基准层远离衬底的一侧的当前层的后层测量标记,当前层为多层外延层中的一层;前层测量标记包括多个第一条状结构;后层测量标记包括多个第二条状结构,显示面板可获取多组沿第一方向抓取的测量抓取距离和多组沿第二方向抓取的测量抓取距离;测量抓取距离为沿抓取方向上,第一条状结构与对应的第二条状结构相邻两边之间的距离;第一方向和第二方向相交。本发明提供了一种显示面板及套刻精度测量方法、显示装置,以解决现有套刻精度的测量精度较低的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 显示 面板 精度 测量方法 显示装置 | ||
【主权项】:
1.一种显示面板,其特征在于,包括:衬底和形成在所述衬底上的多层外延层;/n形成在基准层的上的前层测量标记;所述基准层为所述衬底或所述多层外延层中的一层;/n形成在所述基准层远离所述衬底的一侧的当前层的后层测量标记,所述当前层为所述多层外延层中的一层;/n所述前层测量标记包括多个第一条状结构;所述后层测量标记包括多个第二条状结构,使得所述显示面板可获取多组沿第一方向抓取的测量抓取距离和多组沿第二方向抓取的测量抓取距离;所述测量抓取距离为沿抓取方向上,所述第一条状结构与对应的第二条状结构相邻两边之间的距离;所述第一方向和所述第二方向相交。/n
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