[发明专利]波导的形成方法以及包含该波导的SF6气体无源传感器有效
| 申请号： | 201910818563.4 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN110501781B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 乔磊;廖志军;刘瑞;郑哲;崔文朋;池颖英;陈婷;李春晖;李纪平 | 申请（专利权）人： | 北京智芯微电子科技有限公司;国网信息通信产业集团有限公司;国网江西省电力有限公司;国家电网有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/122;G01N21/31 |
| 代理公司： | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 | 代理人： | 孙彦斌;赵莎莎 |
| 地址： | 100192 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种波导的形成方法以及包含该波导的SF6气体无源传感器，波导的形成方法包括下列步骤：在硅衬底上生长绝缘层；在绝缘层的表面旋涂光刻胶；光刻光刻胶并形成波导结构；在波导结构内气相淀积玻璃以形成玻璃波导层；应用剥离技术除去没有被光刻的光刻胶以及位于波导结构以外的玻璃以形成波导主体；在波导主体上旋涂聚合物；光刻聚合物并固化后以形成腔室支柱；以及将腔室支柱的顶部通过键合技术形成腔室，多个腔室连接形成波导。本发明的波导的形成方法以及包含该波导的SF6气体无源传感器，其采用无源设计增加产品寿命、提升传感器灵敏度、具备实时在线监测功能。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 形成 方法 以及 包含 sf6 气体 无源 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种波导的形成方法，其特征在于，包括下列步骤：/n在硅衬底上生长绝缘层；/n在所述绝缘层的表面旋涂光刻胶；/n光刻所述光刻胶以形成波导结构；/n在所述波导结构内气相淀积玻璃以形成玻璃波导层；/n除去没有被光刻的所述光刻胶以及位于所述波导结构以外的所述玻璃以形成波导主体；/n在所述波导主体上旋涂聚合物；/n光刻所述聚合物并固化后以形成腔室支柱；以及/n键合所述腔室支柱的顶部形成腔室，多个所述腔室连接形成波导。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京智芯微电子科技有限公司;国网信息通信产业集团有限公司;国网江西省电力有限公司;国家电网有限公司，未经北京智芯微电子科技有限公司;国网信息通信产业集团有限公司;国网江西省电力有限公司;国家电网有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910818563.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
