[发明专利]一种体声波谐振器在审
申请号: | 201910818904.8 | 申请日: | 2019-08-30 |
公开(公告)号: | CN110417375A | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 缪建民;张瑞珍 | 申请(专利权)人: | 迈感微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | H03H3/02 | 分类号: | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/15 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201313 上海市浦东新区万*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明实施例公开了一种体声波谐振器。该体声波谐振器包括:第一电极、压电层以及第二电极,所述压电层设置于所述第一电极和所述第二电极之间;所述压电层设置有至少一个开缝,沿所述第一电极指向所述第二电极的方向,所述开缝至少贯穿所述压电层。本发明实施例的方案减少了横向驻波的产生,从而降低了噪声,提升了体声波谐振器的性能。 | ||
搜索关键词: | 压电层 第二电极 第一电极 体声波谐振器 声波谐振器 开缝 种体 横向驻波 噪声 指向 贯穿 | ||
【主权项】:
1.一种体声波谐振器,其特征在于,包括:第一电极、压电层以及第二电极,所述压电层设置于所述第一电极和所述第二电极之间;所述压电层设置有至少一个开缝,沿所述第一电极指向所述第二电极的方向,所述开缝至少贯穿所述压电层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于迈感微电子(上海)有限公司,未经迈感微电子(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910818904.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。