[发明专利]基于MIM矩形腔阵列结构的表面等离子体滤波器在审
| 申请号： | 201910820221.6 | 申请日： | 2019-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN110579826A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 肖功利;张开富;杨宏艳;杨秀华;杨寓婷;李海鸥;张法碧;傅涛;李琦;刘兴鹏 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G02B5/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于MIM矩形腔阵列结构的表面等离子体滤波器。在本发明实例中，金属薄膜采用金属银材料制成，整体为矩形的金属薄膜，主要包括金属膜以及开设在金属膜上的矩形阵列结构。该矩形腔阵列由入射波导、中间波导和出射波导组成。谐振腔由单元结构为矩形的阵列构成，每个矩形腔可以形成一个F‑P腔。通过调控矩形个数n、波导的宽度W、矩形腔的长度L等几何参数，实现对光波进行一个或者多个不同波长的光波滤波，和阻带宽度的有效调节。对比与其他结构的SPPs滤波器而言，这个结构拥有着更简洁的工艺以及较小的能量损耗，可以作为简单的光学设备应用于高集成的光电集成电路中。 | ||
| 搜索关键词： | 矩形腔 波导 滤波器 金属薄膜 光波 金属膜 表面等离子体 光电集成电路 矩形阵列结构 波导组成 单元结构 光学设备 几何参数 能量损耗 有效调节 阵列结构 高集成 金属银 谐振腔 波长 出射 滤波 入射 阻带 调控 应用 | ||
【主权项】：
1.基于MIM矩形腔阵列结构的表面等离子体滤波器，其特征在于：所述滤波器由上下金属膜(2)和中间镂空的矩形阵列波导构成；矩形阵列单元结构由入射波导(1)、出射波导(4)和中间的矩形谐振腔(3)相连构成，左右波导构成内通道(1)和(4)，中间矩形谐振腔构成外通道(3)，该滤波器由多个相同的该单元结构的阵列构成。该结构金属薄膜采用金属银薄膜材料制成。在本发明例中，单元矩阵金属薄膜整体为长方形大小设置为592*700nm。金属薄膜上通过镂空方式，形成入射波导、出射波导和矩形谐振腔，从而使得入射波导、出射波导和谐振腔内填充的介质为空气。/n
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