[发明专利]碳化硅长晶炉超导冷却机组在审
申请号: | 201910821713.7 | 申请日: | 2019-09-02 |
公开(公告)号: | CN110359094A | 公开(公告)日: | 2019-10-22 |
发明(设计)人: | 徐建峰 | 申请(专利权)人: | 青岛云创环境科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B35/00;F27D9/00 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 卓邦荣;郭成 |
地址: | 266000 山东省青岛市高新*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及碳化硅长晶炉超导冷却机组,包括外壳及位于外壳内部的多组相互连接的板式换热器和冷凝器;所述板式换热器通过两条管道与长晶炉炉体连接,一条管道自长晶炉炉体输送载冷剂至板式换热器内,载冷剂经所述板式换热器降温后,经另一条管道输送至水晶炉炉体内;所述板式换热器内接收载冷剂的管道联通至冷凝器内,所述冷凝器将载冷剂降温后,通过另一条管道经板式换热器内部输送至长晶炉炉体内。具有能耗低、温度控制恒定的优点,弥补了传统冷却机房通过冷却塔冷却方式消耗大量水源的不足。 | ||
搜索关键词: | 板式换热器 长晶炉 冷凝器 载冷剂 超导冷却 碳化硅 炉体 冷却塔 体内 板式换热器降温 机组 管道输送 冷却方式 外壳内部 恒定的 联通 炉炉 机房 水晶 冷却 能耗 消耗 水源 | ||
【主权项】:
1.碳化硅长晶炉超导冷却机组,其特征在于:包括外壳及位于外壳内部的多组相互连接的板式换热器和冷凝器;所述板式换热器通过两条管道与长晶炉炉体连接,一条管道自长晶炉炉体输送载冷剂至板式换热器内,载冷剂经所述板式换热器降温后,经另一条管道输送至水晶炉炉体内;所述板式换热器内接收载冷剂的管道联通至冷凝器内,所述冷凝器将载冷剂降温后,通过另一条管道经板式换热器内部输送至长晶炉炉体内。
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