[发明专利]使用多种测量技术的计量系统和方法在审
| 申请号： | 201910821778.1 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN110879079A | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | D·权 | 申请（专利权）人： | 维高仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 章凯;李够生 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本文公开了用于在化学气相沉积工艺期间检测互补的数据组的系统和方法。该系统和方法减少了化学气相沉积反应器中有限窗口空间的使用，同时获得了化学气相沉积反应器中结构的外延生长中的各种阶段的有用数据。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 多种 测量 技术 计量 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于维高仪器股份有限公司，未经维高仪器股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910821778.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：液体喷射头
- 下一篇：用于从碳酸饮料的瓶驱除空气的方法和装置
