[发明专利]二氧化氮气体检测器件及其制作方法、以及电子产品在审
| 申请号： | 201910821892.4 | 申请日： | 2019-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN110579516A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 吴海鸿;王德信;陶源 | 申请（专利权）人： | 青岛歌尔智能传感器有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 44287 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 266100 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种二氧化氮气体检测器件及其制作方法、以及电子产品。其中，二氧化氮气体检测器件包括：载板组件，载板组件包括依次层叠设置的第一载板晶圆、第二载板晶圆及第三载板晶圆，每一载板晶圆均设置有重布线层走线，且相邻两载板晶圆之重布线层走线电性连接，第二载板晶圆设有容纳空间；芯片，芯片设于第一载板晶圆对应容纳空间的表面，并电性连接于第一载板晶圆的重布线层走线；加热电极，加热电极设于第三载板晶圆背向第二载板晶圆的表面，并电性连接于第三载板晶圆的重布线层走线；以及气体传感器，气体传感器设于加热电极的表面，并电性连接于第三载板晶圆的重布线层走线。本发明的技术方案能够有效减小器件的体积，便于用户携带。 | ||
| 搜索关键词： | 载板 晶圆 重布线层 走线 电性连接 加热电极 二氧化氮气体 气体传感器 容纳空间 芯片 依次层叠 用户携带 组件包括 检测 电子产品 减小 制作 | ||
【主权项】：
1.一种二氧化氮气体检测器件，其特征在于，包括：/n载板组件，所述载板组件包括依次层叠设置的第一载板晶圆、第二载板晶圆及第三载板晶圆，所述第一载板晶圆、所述第二载板晶圆及所述第三载板晶圆均设置有重布线层走线，所述重布线层走线贯穿对应载板晶圆的两表面设置，且相邻两载板晶圆之重布线层走线电性连接，所述第二载板晶圆朝向所述第一载板晶圆设置有容纳空间；/n芯片，所述芯片设于所述第一载板晶圆对应所述容纳空间的表面，并电性连接于所述第一载板晶圆的重布线层走线；/n加热电极，所述加热电极设于所述第三载板晶圆背向所述第二载板晶圆的表面，并电性连接于所述第三载板晶圆的重布线层走线；以及/n气体传感器，所述气体传感器设于所述加热电极的背向所述第三载板晶圆的表面，并电性连接于所述第三载板晶圆的重布线层走线。/n
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