[发明专利]体声波谐振器及其制造方法、滤波器和电子设备在审
| 申请号： | 201910825808.6 | 申请日： | 2019-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN111010133A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 杨清瑞;庞慰;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；压电层，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域；所述谐振器还包括用于底电极的刻蚀阻挡层，所述刻蚀阻挡层设置于所述底电极的顶面；且所述刻蚀阻挡层的内端在谐振器的截面图中位于有效区域内而与所述顶电极重叠，所述顶电极的端部基于所述重叠而形成台阶结构。本发明还涉及滤波器与电子设备，以及一种体声波谐振器的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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