[发明专利]阵列基板和显示面板有效
申请号: | 201910826546.5 | 申请日: | 2019-09-03 |
公开(公告)号: | CN110690226B | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 龚吉祥 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种阵列基板和显示面板,所述阵列基板包括有源层、第一栅极、第一层间介电层、第二层间介电层、源极、漏极、钝化层以及平坦层,其中所述钝化层材料为无机材料,所述第二层间介电层为有机材料;此外,所述阵列基板具有第一深孔和第二深孔,并且在第一深孔和第二深孔中填充第二层间介电层;本发明所述阵列基板通过设置深孔并在深孔中填充第二层间介电层,能减少各膜层的弯折应力,提高显示器件的抗弯折能力;通过在所述第二层间介电层和所述平坦层中间设置一无机钝化层,增加膜层之间的粘附力,防止膜层peeling。 | ||
搜索关键词: | 阵列 显示 面板 | ||
【主权项】:
1.一种阵列基板,具有一衬底基板,其特征在于,所述阵列基板包括:/n一有源层,设置在所述衬底基板上;/n一第一栅极绝缘层,设置于所述有源层上并覆盖所述有源层及所述衬底基板;/n一第一栅极,设置于所述第一栅极绝缘层上;/n一第一层间介电层,设置于所述第一栅极上并覆盖所述第一栅极及所述第一栅极绝缘层;/n一第二层间介电层,设置于所述第一层间介电层上并覆盖所述第一层间介电层,所述第二层间介质层材料为有机材料;/n一源极及漏极,设置于所述第二层间介电层上并通过第一过孔与所述有源层连接;/n一钝化层,设置于所述源极及漏极上并覆盖于所述源极及漏极和所述第二层间介电层,所述钝化层材料为无机材料;/n一平坦层,设置于所述钝化层并覆盖所述钝化层。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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