[发明专利]一种X射线小角散射与X射线成像联用的光学系统在审
申请号: | 201910830779.2 | 申请日: | 2019-09-02 |
公开(公告)号: | CN110514682A | 公开(公告)日: | 2019-11-29 |
发明(设计)人: | 边风刚;洪春霞;周平;王玉柱 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海应用物理研究所 |
主分类号: | G01N23/201 | 分类号: | G01N23/201;G01N23/20;G01N23/04;G01N23/20008;G03B42/02 |
代理公司: | 31002 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 余永莉<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种X射线小角散射与X射线成像联用的光学系统,包括:真空腔;布置于真空腔内的束流阻挡器,包括:依次叠置的二极管、闪烁体、第一透镜组和反射棱镜;布置于真空腔外的X射线小角散射探测器;沿与X射线入射方向垂直的方向安装的X射线成像机构,包括:第二透镜组和X射线成像探测器,以及一维调焦电机;以及计算机;其中,X射线照射到样品,发生小角散射后的X射线通过X射线小角散射探测器采集,穿过样品的直通X射线经过束流阻挡器转换为可见光并被90度折射后在X射线成像探测器上成像,从而实现X射线小角散射和X射线成像的同时测量。根据本发明,提供了一种可实现对X射线小角散射和X射线成像同时检测的光学系统。 | ||
搜索关键词: | 小角散射 探测器 真空腔 光学系统 透镜组 阻挡器 束流 二极管 可见光 调焦电机 反射棱镜 入射方向 垂直的 闪烁体 叠置 联用 成像 测量 采集 穿过 折射 计算机 检测 转换 | ||
【主权项】:
1.一种X射线小角散射与X射线成像联用的光学系统,其特征在于,包括:/n具有一容纳空间的真空腔,所述真空腔的上方包括一窗口;/n沿X射线入射方向布置于所述真空腔内的束流阻挡器,包括:依次叠置的二极管、闪烁体、第一透镜组以及反射棱镜;/n沿X射线入射方向布置于所述真空腔外的X射线小角散射探测器,所述X射线小角散射探测器位于束流阻挡器的后端;/n沿与X射线入射方向垂直的方向安装于所述真空腔外的X射线成像机构,包括:与所述窗口对准的第二透镜组和X射线成像探测器,以及用于辅助所述X射线成像探测器调焦的一维调焦电机;以及/n与所述X射线成像探测器信号连接的计算机;/n其中,X射线沿X射线入射方向照射到样品,发生小角散射后的X射线通过所述X射线小角散射探测器采集,穿过所述样品的直通X射线经过所述束流阻挡器转换为可见光并被90度折射后在所述X射线成像探测器上成像,实现X射线小角散射和X射线成像的同时测量。/n
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