[发明专利]一种抛光液回收装置及其控制方法在审
| 申请号： | 201910831069.1 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN110509173A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 祝斌;武卫;孙晨光;刘建伟;由佰玲;刘园;谢艳;杨春雪;刘秒;常雪岩;裴坤羽;吕莹;徐荣清 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B57/00;B24B57/02;G01N33/00;F24H9/18;F24H9/20;B01D29/03;B01D29/56 |
| 代理公司： | 12213 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 栾志超<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抛光液回收装置，包括粗抛单元和回收单元，粗抛单元包括粗抛液混合桶和粗抛液缓冲桶，粗抛液缓冲桶输入端与粗抛液混合桶连通，输出端与抛光机连通；回收单元包括粗抛液回收桶、PH检测仪、粗抛液中转桶和KOH原液桶，粗抛液回收桶与抛光机输出端连通，PH检测仪输入端与粗抛液回收桶输出端连通，PH检测仪输出端分别与粗抛液混合桶和粗抛液中转桶的输入端连通；KOH原液桶输出端分别与粗抛液中转桶和粗抛混合桶输入端连通。本发明还提出一种抛光液回收装置的控制方法。本发明设计的粗抛液回收装置，结构设计合理且可控性高，粗抛液PH稳定且回收利用率高，硅片表面平整度一致性好，自动化程度高，生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 粗抛液 连通 输出端 混合桶 输入端 回收桶 中转桶 粗抛 抛光液回收装置 回收单元 缓冲桶 抛光机 原液桶 硅片表面 回收装置 生产效率 一致性好 可控性 平整度 自动化 回收 | ||
【主权项】：
1.一种抛光液回收装置，其特征在于，包括粗抛单元和回收单元，所述粗抛单元包括粗抛液混合桶和粗抛液缓冲桶，所述粗抛液缓冲桶输入端与所述粗抛液混合桶连通，输出端与抛光机连通；所述回收单元包括粗抛液回收桶、PH检测仪、粗抛液中转桶和KOH原液桶，所述粗抛液回收桶与所述抛光机输出端连通，所述PH检测仪输入端与所述粗抛液回收桶输出端连通，所述PH检测仪输出端分别与所述粗抛液混合桶和所述粗抛液中转桶的输入端连通；所述KOH原液桶输出端分别与所述粗抛液中转桶和所述粗抛混合桶输入端连通。/n
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