[发明专利]一种大尺寸硅圆片切割工艺在审
| 申请号： | 201910831216.5 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN110587837A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 常雪岩;武卫;孙晨光;刘建伟;由佰玲;刘园;谢艳;杨春雪;刘秒;裴坤羽;祝斌;吕莹;徐荣清 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02 |
| 代理公司： | 12213 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种大尺寸硅圆片切割工艺，步骤包括S3：对直径为300mm的硅圆棒在切割机上进行砂浆在线切割并获得硅圆片，在切割过程中，所述硅圆棒进给速度为0.22‑0.47mm/min；所用钢线线径为0.16mm，其切割速度为600‑800m/min，供线量为0.46‑0.74km/pcs，供回张力为24‑28N，且线拱小于3mm；所述砂浆流量为82‑145Kg/mim，其流量波动值为±3Kg/min。本发明切割工艺，尤其是适用于直径为300mm的硅圆棒砂线切割，不仅保证硅圆片的翘曲度和弯曲度等几何参数，而且还可获得表面形貌优良且便于清洗的大尺寸硅圆片。 | ||
| 搜索关键词： | 硅圆片 切割 圆棒 表面形貌 几何参数 流量波动 切割过程 砂浆流量 在线切割 供线量 翘曲度 弯曲度 线切割 砂浆 钢线 进给 线径 清洗 保证 | ||
【主权项】：
1.一种大尺寸硅圆片切割工艺，其特征在于，步骤包括S3：对直径为300mm的硅圆棒在切割机上进行砂浆在线切割并获得硅圆片，在切割过程中，所述硅圆棒进给速度为0.22-0.47mm/min；所用钢线线径为0.16mm，其切割速度为600-800m/min，供线量为0.46-0.74km/pcs，供回张力为24-28N，且线拱小于3mm；所述砂浆流量为82-145Kg/mim，其流量波动值为±3Kg/min。/n
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