[发明专利]一种真空实验系统及实现方法在审
| 申请号： | 201910831734.7 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN110508333A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 郭东亮;梁学锋;涂云宏;张东伟;支佳运;李壮;冯小磊;马世伟;朱丹丹 | 申请（专利权）人： | 北京国科环宇科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01L1/02 | 分类号： | B01L1/02 |
| 代理公司： | 11018 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 牛峥;王丽琴<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 100190 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空实验系统及实现方法，本发明实施例设置真空实验系统，该真空实验系统中包括实验腔体及真空单元，真空单元通过实验腔体的气体出口连接到实验腔体中，具体包括机械泵和分子泵，采用抽真空方式及维持真空环境的方式实现实验腔体的高真空环境。因此，本发明实施例构造真空单元，由真空单元对实验腔体的高真空环境进行控制，在不依赖于外部环境的前提下提供真空环境。 | ||
| 搜索关键词： | 实验腔体 真空单元 真空实验 高真空环境 真空环境 抽真空方式 气体出口 外部环境 分子泵 机械泵 | ||
【主权项】：
1.一种真空实验系统，其特征在于，包括：所述系统包括实验腔体(101)与真空单元(102)，实验腔体(101)通过气体出口与真空单元(102)连接，其中，真空单元(102)包括：/n机械泵(1021)、第一电子阀(1022)、过滤器(1023)及分子泵(1024)串联后，接入气体出口；/n在对实验腔体(101)形成一级真空时，打开第一电子阀(1022)，启动机械泵(1021)，实验腔体(101)中的空气分子在机械泵(1021)的作用下，通过气体出口及分子泵(1024)，经过过滤器(1023)的过滤后，通过第一电子阀(1022)被抽取到机械泵(1021)中，直到实验腔体(101)达到分子泵(1024)的启动压力后，启动分子泵(1024)，继续抽取实验腔体(101)中的空气分子。/n
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