[发明专利]一种具有可移动环的等离子体处理器有效
| 申请号： | 201910831954.X | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN112447474B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 杨金全;黄允文;苏兴才;雷仲礼;王伟娜 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体处理器，包括：反应腔，所述反应腔内设置一个基座，所述基座上放置有一晶圆，第一源射频电源，施加第一射频周期信号到所述反应腔内，以点燃并维持等离子体；一气体喷淋头位于反应腔内与所述基座相对的上方，一偏置射频电源，用于施加第二射频周期信号到所述基座；一等离子约束环围绕所述基座，使得流过所述约束环的带电粒子被熄灭；一可移动环环绕所述气体喷淋头和基座之间的反应空间，所述可移动环在至少两个位置间移动，在等离子处理过程中，所述可移动环下降到低位；其中所述可移动环底部包括一个气体扩散腔与下方的约束环联通，所述气体扩散腔还通过位于可移动环内壁的多个通气槽与基片上方的反应空间相联通。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 移动 等离子体 处理器 | ||
【主权项】：
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