[发明专利]一种超薄氧化铝陶瓷基片的制备方法在审
| 申请号： | 201910832623.8 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN110436897A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 杨大胜;施纯锡 | 申请（专利权）人： | 福建华清电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/10 | 分类号： | C04B35/10;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/634;C04B35/638;C04B35/64 |
| 代理公司： | 泉州市诚得知识产权代理事务所(普通合伙) 35209 | 代理人： | 赖开慧 |
| 地址： | 362200 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及氧化铝陶瓷的技术领域，尤其涉及一种超薄氧化铝陶瓷基片的制备方法，解决现有技术的氧化铝陶瓷基片烧结温度过高的问题，包括以下步骤：(1)氧化铝粉料表面改性；(2)浆料的制备；(3)流延成型；(4)冲压：将步骤(3)所得的生坯带进行冲压，得到生坯片；(5)排胶：将生坯片放入排胶炉中，在氮气气氛下进行第一次排胶，以0.8～2℃/min升温速率升温至450～550℃，保温35～60min，然后在空气气氛下进行第二次排胶，以2～5℃/min升温速率升温至180～250℃，保温80～120min；(5)烧结：将步骤(5)排胶后的生坯片置于烧结炉中烧结12～20h，烧结温度为1550～1600℃。 | ||
| 搜索关键词： | 烧结 排胶 氧化铝陶瓷基片 生坯 制备 冲压 保温 氧化铝粉料 氧化铝陶瓷 表面改性 空气气氛 流延成型 温度过高 排胶炉 烧结炉 生坯带 放入 浆料 | ||
【主权项】：
1.一种超薄氧化铝陶瓷基片的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)氧化铝粉料表面改性：将含量99.9％的氧化铝粉末加入含5wt％有机酸的乙醇溶液中，氧化铝粉末与乙醇溶液的重量比为1：20～40，在70～80℃下搅拌30～60min，冷却至40℃后过滤并用正己烷洗涤，干燥后制得改性氧化铝粉料；(2)浆料的制备：将改性氧化铝粉料、烧结助剂、溶剂、分散剂加入球磨机中球磨8～12h，然后再加入聚乙烯醇缩丁醛、聚乙二醇、成膜助剂继续球磨5～8h，最后加入除泡剂进行真空搅拌25～35min，制得流动性良好且稳定的浆料；(3)流延成型：将步骤(2)制得的浆料送入流延机，浆料在流延机输送带上形成薄层的生坯带并经过烘干室烘干；(4)冲压：将步骤(3)所得的生坯带放入冲片机上进行冲压，得到所需形状及尺寸的生坯片；(5)排胶：将生坯片放入排胶炉中，在氮气气氛下进行第一次排胶，以0.8～2℃/min升温速率升温至450～550℃，保温35～60min，然后在空气气氛下进行第二次排胶，以2～5℃/min升温速率升温至180～250℃，保温80～120min；(6)烧结：将步骤(5)排胶后的生坯片置于烧结炉中烧结12～20h，烧结温度为1550～1600℃，升温速率6～8℃/min，烧结过程在氮气或惰性气体气氛下进行。
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