[发明专利]一种控制热场温度工艺在审
申请号: | 201910833770.7 | 申请日: | 2019-09-04 |
公开(公告)号: | CN110438561A | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 赵国伟;王建平;周泽;王鑫;皇甫亚楠;杨志;刘学;吴树飞;刘振宇;郭志荣;王林;徐强 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B29/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明提供一种控制热场温度工艺,在直拉单晶过程中,根据坩埚内剩料的重量进行热场温度的调节,以使得单晶生长保持一致性。本发明的有益效果是能够保证单晶拉制后期温度一致,无需调节,而且便于拉制单晶全程使用同一套参数,极大的提高拉晶过程温度的一致性。 | ||
搜索关键词: | 热场 温度工艺 单晶拉制 单晶生长 温度一致 一套参数 直拉单晶 拉制 单晶 拉晶 坩埚 全程 保证 | ||
【主权项】:
1.一种控制热场温度工艺,其特征在于:在直拉单晶过程中,根据坩埚内剩料的重量进行热场温度的调节,以使得单晶生长保持一致性。
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