[发明专利]一种振动检测装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201910835240.6 | 申请日： | 2019-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN110631685B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 万蔡辛 | 申请（专利权）人： | 无锡韦感半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;刘静 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种振动检测装置及其制造方法。该振动检测装置包括衬底；背极；以及振膜结构；振膜结构可振动地设置于所述衬底和所述背极之间，并与所述背极形成电容，其中，所述振膜结构包括振膜以及位于所述振膜上表面和/或下表面的至少一个质量块。本发明实施例提供的振动检测装置及其制造方法，在振膜的上表面和/或下表面设计有用于增加质量的质量块，形成了新的振膜结构，增加了对振动信号敏感的灵敏度，实现对人类语音范围内的机械/骨骼振动信号敏感；新的振膜结构的质量中心与振膜的质量中心的连线垂直于振膜或是重合，避免质量中心偏移造成的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 振动 检测 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种振动检测装置，其特征在于，包括：/n衬底；/n背极；以及/n振膜结构，可振动地设置于所述衬底和所述背极之间，并与所述背极形成电容，/n其中，所述振膜结构包括振膜以及位于所述振膜上表面和/或下表面的至少一个质量块。/n
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