[发明专利]离子源放电室导气结构以及离子源在审
| 申请号： | 201910837279.1 | 申请日： | 2019-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN110571119A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 姜友松;宣玲;王怀民 | 申请（专利权）人： | 合肥晞隆光电有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张印铎;周达 |
| 地址： | 230088 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开一种离子源放电室导气结构以及离子源，其中，一种离子源，包括：离子源壳体；设置于所述离子源壳体内部的放电室；所述放电室上设有离子拔出电极组件；设置于所述离子源壳体内部的射频天线；用于从所述离子源壳体外部向所述放电室内导入气体的导气结构；所述导气结构包括：用于输入气体的进气组件、气体分配组件、第一输气管路和第二输气管路；所述气体分配组件将进气组件输入的气体分配成进入所述第一输气管路的一部分以及进入所述第二输气管路的一部分；所述第一输气管路和所述第二输气管路通入所述放电室的不同区域。该离子源放电室导气结构以及离子源能够使得放电室中的气体导入均匀，进而有利于等离子体分布均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 输气管路 离子源 导气结构 放电室 离子源放电室 气体分配组件 离子源壳体 进气组件 壳体内部 等离子体分布 电极组件 气体分配 射频天线 输入气体 拔出 放电 离子 室内 外部 申请 | ||
【主权项】：
1.一种离子源，其特征在于，包括：/n离子源壳体；/n设置于所述离子源壳体内部的放电室；所述放电室上设有离子拔出电极组件；/n设置于所述离子源壳体内部的射频天线；/n用于从所述离子源壳体外部向所述放电室内导入气体的导气结构；所述导气结构包括：用于输入气体的进气组件、气体分配组件、第一输气管路和第二输气管路；所述气体分配组件将进气组件输入的气体分配成进入所述第一输气管路的一部分以及进入所述第二输气管路的一部分；所述第一输气管路和所述第二输气管路通入所述放电室的不同区域。/n
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