[发明专利]一种铜锡合金键合线生产工艺方法

摘要

本发明公开了一种铜锡合金键合线生产工艺方法，按照如下质量百分比的组分要求准备，铬0.8％～1.5％、锆0.06～0.09％、锰0.3％～0.5％、氮化钛粉体0.5％～1.5％、银0.003％～0.009％、镁0.005～0.07％、铝0.008～0.01％、铟0.006～0.007％、硅0.001％～0.005％，余量为铜，并采用科学的合金线制备方法，利用金属在熔融液态时由激烈运动的原子集团和空穴组成的特性，通过合理的铸造工艺使铬、锆、锰、氮化钛粉体、银、镁、铝、铟和硅元素均匀分布到铜基体中，从而改善铜基体的综合性能；此外，本发明还在铜合金线的外部镀有锡层，使得该铜锡合金键合线具有较好的抗氧化性、耐腐蚀性和屏蔽性(抗干扰性)，也有利于降低合金线的电阻率，提高其导电性能。

主权项

1.一种铜锡合金键合线生产工艺方法，其特征在于，包括以下几个步骤：/nS1、配料：按如下质量百分比的组分要求准备，铬0.8％～1.5％、锆0.06～0.09％、锰0.3％～0.5％、氮化钛粉体0.5％～1.5％、银0.003％～0.009％、镁0.005～0.07％、铝0.008～0.01％、铟0.006～0.007％、硅0.001％～0.005％，余量为铜；/nS2、熔炼：将上述质量百分比的铬、锆、锰、氮化钛粉体、银、镁、铝、铟、硅和铜加入到真空熔炼炉中，升温至1150～1250℃熔化铬、锆、锰、氮化钛粉体、银、镁、铝、铟、硅和铜，持续精炼20～35min后，再搅拌并保温1～1.5h然后真空冷却，制得铜合金锭；/nS3、连铸：将真空连续铸造炉抽真空至1.5×10Pa后，停止抽真空并向真空熔炼炉中充入惰性气体至5×10 3Pa，然后将真空连续铸造炉升温至1000～1200℃后，加入步骤S2中所述铜合金锭进行熔化，精炼30～40min，开始连续铸造，连续铸造的速度为40～50mm/min，连铸成铜合金杆；/nS4、拉丝：将步骤S3所述的铜合金杆用油脂类润滑剂润滑，再放入拉丝模具中进行冷拉拔，其中拉丝模具为用油脂类润滑剂润滑过的拉丝模具，经冷却拉伸和在线退火，制成直径为0.2～0.3mm的铜合金线；/nS5、清洗铜合金线：拉丝结束后立即对S4中制得的铜合金线进行三次清洗，第一次用体积分数为8％～15％的硫酸清洗20～30s，第二次用乙醇-水混合溶液清洗15～25s，第三次用去离子水清洗10～20s，清洗后置于180～200℃的环境下烘干；/nS6、镀层：根据镀锡层的厚度选择合适孔径的长管形模具，将清洗烘干后的铜合金线穿插在长管形模具内，然后用医用针管以13～15μL/min的速度将镀锡液注入长管形模具内，注满后将长管形模具置于180～200℃的环境下烘干12～14h，烘干拆模后得到铜锡合金键合线；/nS7、清洗：完成镀锡后用清水冲洗，之后再使用中和液中和处理，然后再用清水冲洗，最后通过热水冲洗处理后，导入控温管道内烘干，获得成品。/n