[发明专利]一种加热器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910855023.3 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN110662314B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 何军舫 | 申请（专利权）人： | 博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/14 | 分类号： | H05B3/14;H05B3/18;H05B3/02 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 郑久兴 |
| 地址： | 301802 天津市宝坻区中关村*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种加热器及其制备方法。加热器包括：热解氮化硼衬底(1)以及依次层叠设置在衬底(1)的表面的导电层(2)和绝缘层(3)，其中所述导电层(2)包括掺杂有碳化硼的热解石墨，所述碳化硼的质量为新的导电层的0.1％～50％。本发明实施方式通过在加热器中设置新的导电层，新的导电层的膨胀系数与绝缘层和衬底的膨胀系数相差较小，不容易出现分层现象。并且，新的导电层的电阻不会随着温度的升高出现大幅度波动的现象，使得加热效果好。相比于现有技术，解决了热解石墨导电涂层的电阻率负温特性，减小了现有技术中导电涂层与氮化硼衬底的热膨胀系数差，一方面可以简化加热器的控温程序，另一方面可以解决了导电涂层的分层问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种加热器，其特征在于，包括热解氮化硼衬底(1)以及依次层叠设置在衬底(1)的表面的导电层(2)和绝缘层(3)，其中所述导电层(2)包括掺杂有碳化硼的热解石墨，所述碳化硼的质量为所述导电层的0.1％～50％。/n
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