[发明专利]一种利用磁隧道结瞬时测量温度的装置及方法在审
| 申请号： | 201910856433.X | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN110455429A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 杨杭福;黄霞妮;葛洪良 | 申请（专利权）人： | 杨杭福 |
| 主分类号： | G01K7/36 | 分类号： | G01K7/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种利用磁隧道结瞬时测量温度的装置及方法，包括以下步骤：利用电阻加热平台，测量磁隧道结磁电阻随着温度的变化曲线，计算得到温度电阻系数；通过高频采样示波器，测量磁电阻在激光脉冲下的磁电阻信号，利用测得的温度电阻系数，将电阻信号转化为温度变化信号。本发明所采样的测量装置与方法具有皮秒量级的时间分辨率，同时测温范围广，测量准确度高，响应时间快，抗干扰性能好，操作简单，同时磁隧道结非常小，适合将磁隧道结制作成具有高空间分辨率的温度传感器，应用广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 磁隧道结 磁电阻 测量 温度电阻系数 高空间分辨率 温度变化信号 抗干扰性能 时间分辨率 温度传感器 准确度 变化曲线 测量装置 电阻加热 电阻信号 高频采样 激光脉冲 示波器 采样 测温 响应 制作 转化 应用 | ||
【主权项】：
1. 一种利用磁隧道结瞬时测量温度的装置及方法, 其特征在于磁隧道结（MTJ）的结构主要包括：以氧化镁或者氧化铝为绝缘层，CoFeB为磁性自由层和参考层，以CoFe为反铁磁层，以及保护层和连接层；保护层其特征在于，以Ru, Ta, Cu等的一层或多层作为保护层；连接层以Cu, Ta, CuN等的一层或多层作为连接层；所述磁隧道结的隧穿磁电阻（TMR）大于等于100%。/n
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