[发明专利]一种高速氦质谱检漏分检系统及其分检方法

摘要

本发明公开了一种高速氦质谱检漏分检系统及其分检方法，包括输送台，所述输送台的两侧皆开设有滑动开口，所述滑动开口的内侧皆通过轴承活动安装有驱动杆，所述驱动杆的表面皆活动套接有连接筒，所述连接筒的顶部输送台上固定安装有分检载台，所述分检载台的顶部固定安装有定位板，且定位板的表面开设有定位槽，所述定位槽的内侧底端皆固定安装有电动推杆。该高速氦质谱检漏分检系统及其分检方法可方便在检测过程中能够同时对四片工件进行检测，且能对四片产品单独检测，将生产节拍提高到2S/PCS使效率更高，同时可避免出现抛料的现象，不需要进行二次分检，降低了工作强度和检测成本。

主权项

1.一种高速氦质谱检漏分检系统及其分检方法，包括高速氦质谱检漏分检系统，其特征在于：该高速氦质谱检漏分检系统包括输送台(16)，所述输送台(16)的两侧皆开设有滑动开口(17)，所述滑动开口(17)的内侧皆通过轴承(25)活动安装有驱动杆(23)，所述驱动杆(23)的表面皆活动套接有连接筒(15)，所述连接筒(15)的顶部输送台(16)上固定安装有分检载台(21)，所述分检载台(21)的顶部固定安装有定位板(20)，且定位板(20)的表面开设有定位槽(18)，所述定位槽(18)的内侧底端皆固定安装有电动推杆(24)，且电动推杆(24)的顶部皆固定安装有升降板(19)，且升降板(19)的面积略小于定位槽(18)的面积；/n所述输送台(16)的两侧皆固定安装有导向柱(3)，所述导向柱(3)的表面活动套接有支撑板(5)，所述支撑板(5)的顶部固定安装有分检上模(2)，且分检上模(2)的一侧固定安装有初级真空阀(1)，所述支撑板(5)的底部固定安装有检测腔体(6)，所述输送台(16)的一侧固定安装有输送管(13)，且输送管(13)的外端通过连接板(11)固定安装有氦检仪(12)。/n