[发明专利]真空配管阱装置、真空配管阱系统以及配管清理方法有效
| 申请号： | 201910857270.7 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN110960931B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 堀冈佑吉;初春 | 申请（专利权）人： | 河南一轮电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;B01D46/26 |
| 代理公司： | 北京庚致知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11807 | 代理人： | 李伟波;李永虎 |
| 地址： | 450003 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及的真空配管阱装置、真空配管阱系统以及配管清理方法能够防止粉尘爆炸，同时高效地捕集氧化硅粉尘，并降低清理作业所需要的精力或时间。真空配管阱系统(9)具备：上框体(21)；下框体(22)，其与该上框体(21)能够分离地连结，收纳捕集由于单晶生长而产生的粉尘的捕集筒(29)；以及旋转过滤器(70)，其收纳在所述捕集筒(29)内，其中，通过圆筒(66)和条状的多个阻燃性叶片过滤器(BF)来构成该旋转过滤器(70)，圆筒(66)枢设在捕集筒(29)的底部，条状的多个阻燃性叶片过滤器(BF)被配设成从该圆筒(66)的周面沿着径向延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 配管阱 装置 系统 以及 清理 方法 | ||
【主权项】：
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