[发明专利]一种溅射成膜装置在审
| 申请号： | 201910858667.8 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN110408904A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 余龙;张詠麟;马淑莹;裴蓓 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及薄膜制备技术领域，尤其涉及一种溅射成膜装置，其特征在于：所述基板托盘公转转台与一设置在所述真空成膜室外部的公转马达驱动连接并在其驱动下旋转，所述基板托盘自转转台与一设置在所述真空成膜室内部的自转真空马达相驱动连接，所述自转真空马达通过真空导入电极与一设置在所述真空成膜室外部的导电滑环相连接，所述基板托盘自转转台在所述的所述自转真空马达的驱动下旋转。本发明的优点是：实现基板托盘公自转转速比例的调整，可显著提高基板沉积不同镀膜材料膜厚均匀性，可满足高精度低缺陷的薄膜的制备需要；减少采用传动齿轮组时其摩擦振动产生的粉尘，进而减少基板薄膜缺陷的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 基板托盘 真空成膜 真空马达 自转 溅射成膜 自转转台 室外部 薄膜制备技术 传动齿轮组 膜厚均匀性 驱动 导电滑环 镀膜材料 公转转台 基板薄膜 马达驱动 摩擦振动 驱动连接 电极 低缺陷 公自转 室内部 基板 沉积 制备 薄膜 粉尘 | ||
【主权项】：
1.一种溅射成膜装置，包括设置在真空成膜室内的基板托盘公转转台、基板托盘自转转台，其中所述基板托盘公转转台可在所述真空成膜室内公转，所述基板托盘自转转台与所述基板托盘公转转台相连接并可在所述真空成膜室内自转，其特征在于：所述基板托盘公转转台与一设置在所述真空成膜室外部的公转马达驱动连接并在其驱动下旋转，所述基板托盘自转转台与一设置在所述真空成膜室内部的自转真空马达相驱动连接，所述自转真空马达通过真空导入电极与一设置在所述真空成膜室外部的导电滑环相连接，所述基板托盘自转转台在所述的所述自转真空马达的驱动下旋转。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于光驰科技（上海）有限公司，未经光驰科技（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910858667.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：刀具表面多元多层涂层制备方法
- 下一篇：溅射方法
- 同类专利
- 专利分类
