[发明专利]一种导模法生长封口蓝宝石管的装置和方法在审
申请号: | 201910859647.2 | 申请日: | 2019-09-11 |
公开(公告)号: | CN110512280A | 公开(公告)日: | 2019-11-29 |
发明(设计)人: | 王庆国;罗平;徐军;吴锋;唐慧丽;董建树;王东海;薛艳艳 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;C30B29/20;C30B29/66 |
代理公司: | 31225 上海科盛知识产权代理有限公司 | 代理人: | 蒋亮珠<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 200092 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种导模法生长封口蓝宝石管的装置及方法,包括熔炉、籽晶(1)、坩埚(5),以及装在坩埚(5)内的氧化铝熔体原料(6)和模具,其特征在于,所述的模具为组合式的带环形供料缝的钼质模具,包括外筒(2)和内芯(3),外筒(2)和内芯(3)之间为环形供料缝。方法包括:热场安装、投料、抽真空、充保护气、升温化料、升坩埚供料、引晶、提拉生长、同时保持坩埚上升、生长结束降坩埚停止供料并提拉晶体脱离模具、降温退火等过程,与现有技术相比,本发明能够有效控制整个晶体管上下及壁厚的均匀性,坩埚升高高度控制可通过长晶长度所需原料重量体积和模具高度位置等计算得到,生长过程可见可控,晶体质量高。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 模具 供料 内芯 提拉 外筒 生长 封口 退火 氧化铝熔体 高度控制 高度位置 生长过程 有效控制 蓝宝石 保护气 抽真空 导模法 均匀性 组合式 晶体管 壁厚 化料 可控 热场 投料 引晶 籽晶 钼质 熔炉 升高 脱离 | ||
【主权项】:
1.一种导模法生长封口蓝宝石管的装置,包括熔炉、籽晶(1)、坩埚(5),以及装在坩埚(5)内的氧化铝熔体原料(6)和模具,其特征在于,所述的模具为组合式的带环形供料缝的钼质模具,包括外筒(2)和内芯(3),外筒(2)和内芯(3)之间为环形供料缝。/n
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