[发明专利]一种光罩台车及光罩系统在审
| 申请号： | 201910861534.6 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110588735A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 苏顺森 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B62B3/00 | 分类号： | B62B3/00;G02F1/13;G03F7/20 |
| 代理公司： | 44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 彭绪坤 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光罩台车及光罩系统，该光罩台车包括：本体部，具有一容纳腔室，所述容纳腔室用于放置掩膜板；所述本体部包括多个竖直支架，其中靠近所述曝光机侧的竖直支架上开设有凹槽，且所述凹槽的位置与所述曝光机上的连锁报警设备的位置对应，所述凹槽可容纳所述连锁报警设备。本发明的光罩台车及光罩系统，能够提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩台车 报警设备 容纳腔室 竖直支架 光罩 生产效率 曝光机 掩膜板 容纳 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种光罩台车，其特征在于，所述光罩台车用于将掩膜板传输至曝光机；所述光罩台车包括：/n本体部，具有一容纳腔室，所述容纳腔室用于放置掩膜板；所述本体部包括多个竖直支架，其中靠近所述曝光机侧的竖直支架上开设有凹槽，且所述凹槽的位置与所述曝光机上的连锁报警设备的位置对应，所述凹槽可容纳所述连锁报警设备。/n
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