[发明专利]一种HIT镀膜设备在线清洗后腔体寿命快速恢复方法在审
| 申请号： | 201910862462.7 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110747450A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 上官泉元;刘奇尧 | 申请（专利权）人： | 常州比太科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;H01L31/20 |
| 代理公司： | 11578 北京集智东方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴倩 |
| 地址： | 213164 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种HIT镀膜设备在线清洗后腔体寿命快速恢复方法，包括如下工艺步骤：1)腔体在线清洗工艺：用NF | ||
| 搜索关键词： | 氟原子 腔体 镀膜工艺 快速恢复 能量作用 射频电源 在线清洗 清洗 残留 氢气等离子 镀膜设备 干法刻蚀 工艺步骤 工艺腔体 快速去除 清洗工艺 清洗气体 自动工艺 氢气 后腔体 还原性 气体量 腔体壁 氢原子 真空泵 排出 附着 抽空 恢复 分解 覆盖 生产 | ||
【主权项】：
1.一种HIT镀膜设备在线清洗后腔体寿命快速恢复方法，其特征在于，包括如下工艺步骤：/n1)腔体在线清洗工艺：用NF
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
