[发明专利]一种用于蓝宝石研磨的粗磨液在审
| 申请号： | 201910862716.5 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110669439A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 姚钦;宋述远;蔡金荣 | 申请（专利权）人： | 江苏吉星新材料有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 32200 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 212200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于蓝宝石研磨的粗磨液，所述粗磨液由以下组分按重量份组成：磨料32～55份、分散剂1～3份、增稠剂1～3份、表面活性剂1～2份、碱性调节剂3～5份、去离子水55～90份；其中，所述磨料为碳化硅、碳化硼、二氧化硅、氧化铝中的一种，莫氏硬度＞9，粒径60～100nm。本发明的粗磨液可用于蓝宝石化学机械抛光(CMP)工艺的粗抛光，抛光效果良好，有效提高了蓝宝石抛光工艺的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 粗磨 磨料 化学机械抛光 表面活性剂 碱性调节剂 二氧化硅 莫氏硬度 抛光工艺 抛光效果 去离子水 研磨 粗抛光 分散剂 良品率 碳化硅 碳化硼 增稠剂 重量份 氧化铝 可用 粒径 | ||
【主权项】：
1.一种用于蓝宝石研磨的粗磨液，其特征在于，所述粗磨液由以下组分按重量份组成：磨料32～55份、分散剂1～3份、增稠剂1～3份、表面活性剂1～2份、碱性调节剂3～5份、去离子水55～90份；其中，所述磨料为碳化硅、碳化硼、二氧化硅、氧化铝中的一种，莫氏硬度＞9，粒径60～100nm。/n
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