[发明专利]真空阀门有效
| 申请号： | 201910864400.X | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN111350827B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 小崎纯一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F16K1/00 | 分类号： | F16K1/00;F16K31/06;F16K51/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 薛恒;王琳 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空阀门及阀门控制装置，能够实现微调性能的提高。真空阀门(4)是对阀体(40)以相对于阀门开口(410)进行升降驱动，而进行阀门开闭动作的真空阀门，所述阀体(40)是与阀门开口(410)相向配置，所述真空阀门(4)包括：粗调驱动部(43)，对阀体(40)以第一最小驱动可能量进行升降驱动；以及微调驱动部(44)，对阀体(40)以第二最小驱动可能量进行升降驱动，所述第二最小驱动可能量小于第一最小驱动可能量。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 阀门 | ||
【主权项】：
暂无信息
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