[发明专利]一种钨硅靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201910864942.7 | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN110714185A | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 李保强;祁美贵;刘文迪;李斌玲;郑艾龙;黄志民 | 申请（专利权）人： | 厦门虹鹭钨钼工业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 35204 厦门市首创君合专利事务所有限公司 | 代理人： | 连耀忠;杨锴 |
| 地址： | 361000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种钨硅靶材的制备方法，以纯度≥6N的多晶硅粒代替硅粉为原料进行钨硅靶材的制备，克服了硅粉纯度偏低、高纯度硅粉成本高的问题；并且，基于多晶硅粒的纯度更容易得到保证的情况，原料更易获取，不仅能够保证制备的钨硅靶材的纯度，还能够降低生产成本。由于硅材料相对于钨材料更容易破碎，本发明以多晶硅粒为原料直接和钨粉进行混合破碎，在对多晶硅粒进行破碎的同时，可与钨粉进行充分混合，进而通过一个步骤即可得到钨硅混合料，提高生产效率。由于多晶硅粒的破碎与钨硅粉体的制备在一台设备(球磨机)上连续进行，避免了因工艺流程过长而对材料造成的污染，有助于保证材料的纯度；同时降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅 钨硅 制备 破碎 靶材 硅粉 钨粉 球磨机 充分混合 高纯度硅 生产效率 工艺流程 硅材料 混合料 钨材料 保证 粉体 生产成本 污染 | ||
【主权项】：
1.一种钨硅靶材的制备方法，其特征在于，步骤如下：/n1)按多晶硅粒质量分数23.41-37.93wt.％的比例称取钨粉和多晶硅粒；钨粉的费氏平均粒度为1-10μm、纯度≥5N，多晶硅粒的粒度为1-10mm、纯度≥6N；/n2)将步骤1)的钨粉和多晶硅粒置于球磨罐中，以50-70rpm的转速、24-48h的球磨时间，对多晶硅粒进行破碎，同时使两种物料混合均匀；/n3)转速提高至200-300rpm，以30-100h的球磨时间进行球磨，得到钨硅粉体；/n4)将步骤3)得到的钨硅粉体经冷压、真空热压烧结、机械加工，得到钨硅靶材。/n
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