[发明专利]外加电场辅助GaN纳米线阵列光电阴极及制备方法有效
申请号: | 201910866932.7 | 申请日: | 2019-09-12 |
公开(公告)号: | CN110610838B | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 刘磊;陆菲菲;田健;张杨星月 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | H01J1/34 | 分类号: | H01J1/34;H01J9/12;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 唐代盛 |
地址: | 210094 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种外加电场辅助GaN纳米线阵列光电阴极,包括银环氧树脂电极、柔性聚甲基丙烯酸甲酯层,高度对齐的p型GaN纳米线阵列和透明氧化铟锡电极;柔性聚甲基丙烯酸甲酯层设置于银环氧树脂电极和透明氧化铟锡电极之间,且柔性聚甲基丙烯酸甲酯层内部真空,p型GaN纳米线阵列设置于柔性聚甲基丙烯酸甲酯层内,p型GaN纳米线阵列外部设置Cs/O激活层,透明氧化铟锡电极和p型GaN纳米线阵列顶部接触,形成肖特基结,透明氧化铟锡电极和银环氧树脂电极之间的偏置电压引入外部场,控制偏置电压的大小和方向改变场强。 | ||
搜索关键词: | 外加 电场 辅助 gan 纳米 阵列 光电 阴极 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种外加电场辅助GaN纳米线阵列光电阴极,其特征在于,包括银环氧树脂电极(1)、柔性聚甲基丙烯酸甲酯层(2),高度对齐的p型GaN纳米线阵列(3)和透明氧化铟锡电极(4);其中/n柔性聚甲基丙烯酸甲酯层(2)设置于银环氧树脂电极(1)和透明氧化铟锡电极(4)之间,且柔性聚甲基丙烯酸甲酯层(2)内部真空,/np型GaN纳米线阵列(3)设置于柔性聚甲基丙烯酸甲酯层(2)内,/np型GaN纳米线阵列(3)外部设置Cs/O激活层(5),/n透明氧化铟锡电极(4)和p型GaN纳米线阵列(3)顶部接触,形成肖特基结,/n透明氧化铟锡电极(4)和银环氧树脂电极(1)之间的偏置电压引入外部场,控制偏置电压的大小和方向改变场强。/n
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