[发明专利]一种适用于大尺寸单晶提拉速及散热的装置在审
申请号: | 201910868501.4 | 申请日: | 2019-09-12 |
公开(公告)号: | CN110424050A | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 张文霞;高润飞;郭志荣;张石晶;韩凯;武志军;霍志强;郭谦;王林;谷守伟;徐强 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明提供一种适用于大尺寸单晶提拉速及散热的装置,包括制冷装置主体、进水管道和出水管道,进水管道与出水管道分别与制冷装置主体连接,便于冷却介质在制冷装置主体内循环流通,其中,制冷装置主体设有多个视线孔,多个视线孔沿着单晶炉盖至坩埚方向依次设置;以及,单晶炉盖设有观察孔,多个视线孔设于制冷装置主体与观察孔相对侧,便于观察单晶的生长。本发明的有益效果是具有多个视线孔,便于观察单晶的生长,在保证晶体结晶区温度维持在硅结晶点温度的前提下,加快晶体表面热量散失,增加晶体轴向温度梯度,促进单晶拉速提升。 | ||
搜索关键词: | 制冷装置主体 视线 单晶 大尺寸单晶 出水管道 单晶炉盖 进水管道 观察孔 散热 提拉 轴向温度梯度 晶体表面 晶体结晶 冷却介质 热量散失 温度维持 依次设置 硅结晶 内循环 生长 观察 拉速 坩埚 流通 保证 | ||
【主权项】:
1.一种适用于大尺寸单晶提拉速及散热的装置,其特征在于:包括制冷装置主体、进水管道和出水管道,所述进水管道与所述出水管道分别与所述制冷装置主体连接,便于冷却介质在所述制冷装置主体内循环流通,其中,所述制冷装置主体设有多个视线孔,所述多个视线孔沿着单晶炉盖至坩埚方向依次设置;以及,所述单晶炉盖设有观察孔,所述多个视线孔设于所述制冷装置主体与所述观察孔相对侧,便于观察单晶的生长。
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