[发明专利]电阻整合式气体传感器有效
| 申请号： | 201910870056.5 | 申请日： | 2019-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN111351821B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 骆玠錞 | 申请（专利权）人： | 新唐科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 孙乳笋;周永君 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电阻整合式气体传感器，包括基板、第一金属氧化物层，绝缘层，接触金属层，接触空穴，第二金属氧化物层以及指叉状电极层。第一金属氧化物层配置于基板中。绝缘层配置于基板及第一金属氧化物层上。接触金属层及接触空穴配置于绝缘层中。第二金属氧化物层配置于绝缘层上。指叉状电极层的一部分配置于绝缘层上，另一部分配置于第二金属氧化物层中。接触金属层及接触空穴连接第一金属氧化物层与指叉状电极层。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 整合 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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