[发明专利]带有电弧检测的解冻设备及其操作方法在审
| 申请号： | 201910870062.0 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110646680A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 马敏洋;邱小飞;利昂内尔·蒙然 | 申请（专利权）人： | 恩智浦美国有限公司 |
| 主分类号： | G01R29/08 | 分类号： | G01R29/08;A23L3/365;H05B6/06 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 吴晓兵 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种解冻系统包括：RF信号源；接近腔室的一个或多个电极，待解冻装料定位在所述腔室内；在所述RF信号源和所述一个或多个电极之间的传输路径；以及阻抗匹配网络，其沿着在所述RF信号源的输出和所述一个或多个电极之间的所述传输路径电耦合。所述系统还包括测量电路系统，所述测量电路系统耦合到所述传输路径且被配置成测量包括沿着所述传输路径的电压、电流、前向信号功率、反射信号功率和S11的一个或多个参数。系统控制器被配置成监测测量值，并且在所监测的一个或多个参数中的任一个的改变速率超过预定阈值时修改所述系统的操作。所述阻抗匹配网络可以是单端网络或双端网络。 | ||
| 搜索关键词： | 传输路径 电极 测量电路系统 阻抗匹配网络 测量 反射信号功率 系统控制器 装料 解冻系统 前向信号 双端网络 电耦合 阈值时 耦合到 监测 单端 腔室 配置 解冻 室内 输出 网络 | ||
【主权项】：
1.一种耦合到用于容纳装料的腔室的热增加系统，其特征在于，所述热增加系统包括：/n射频(RF)信号源，其被配置成供应RF信号；/n传输路径，其电耦合在所述RF信号源和接近所述腔室定位的一个或多个电极之间；/n阻抗匹配网络，其沿着所述传输路径电耦合，其中所述阻抗匹配网络包括可变无源组件的网络；/n测量电路系统，其耦合到所述传输路径，其中所述测量电路系统周期性地测量沿着所述传输路径传送的所述RF信号的参数，从而产生多个参数测量值；以及/n控制器，其被配置成基于所述多个参数测量值而确定所述参数的改变速率，确定所确定的改变速率超过能够对应于电弧放电条件的预定义阈值的时间，以及当所确定的改变速率超过所述预定义阈值时响应于所确定的改变速率超过所述预定义阈值而修改所述热增加系统的操作。/n
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