[发明专利]一种基于圆弧形固支梁的微波功率传感器在审
| 申请号： | 201910870919.9 | 申请日： | 2019-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN110579643A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 李龙飞;蒋燕;王德波 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G01R21/00 | 分类号： | G01R21/00;G01R1/04 |
| 代理公司： | 32243 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张玉红 |
| 地址： | 210003 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于圆弧形固支梁的微波功率传感器，采用MEMS平面加工。该传感器由衬底、共面波导传输线、锚区、圆弧形固支梁和电容极板组成。衬底位于最下方，衬底上端面左右两侧各设有地线，两侧地线的上端面中部各设有一个锚区，圆弧形固支梁由锚区固定在两侧地线上，圆弧形固支梁的下方设有共面波导传输线，共面波导传输线与左侧地线之间在圆弧形固支梁正下方设有电容极板，有一个输出端与电容极板相连用于检测电容，当微波信号进入时引起电容变化，通过测量变化值即可间接得到微波信号的功率。此传感器采用圆弧形固支梁结构，提高了传感器的灵敏度和系统本身的稳定性，同时具有体积小、便于集成、结构简单等诸多优点。 | ||
| 搜索关键词： | 固支梁 圆弧形 地线 共面波导传输线 电容极板 传感器 衬底 锚区 微波信号 上端面 微波功率传感器 测量变化 电容变化 检测电容 平面加工 左右两侧 灵敏度 输出端 体积小 | ||
【主权项】：
1.基于圆弧形固支梁的微波功率传感器，其特征在于，包括衬底(6)，所述衬底(6)位于最下方，衬底(6)上端面左右两侧各设有地线(1)，两侧地线(1)的上端面中部各设有一个锚区(3)，圆弧形固支梁(5)通过两侧锚区(3)跨接固定在两侧地线(1)中间，共面波导传输线(2)位于衬底(6)上并设于圆弧形固支梁(5)的下方，电容极板(4)位于衬底(6)上并设于共面波导传输线(2)与一侧地线(1)之间且位于圆弧形固支梁(5)正下方。/n
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