[发明专利]加工装置在审
| 申请号： | 201910871632.8 | 申请日： | 2019-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112496997A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 福永信贵;枪光正和;龙秀二郎;藤井克久 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B37/015;B24B37/10;B24B37/30;B24B47/12;B24B49/00;B24B55/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够可靠地避免主轴与主轴壳体相接触而导致产生不良的加工装置。具有：多个卡盘，保持基板；及至少1个加工轴；加工轴包括：加工部，对基板进行加工；主轴，使加工部旋转；主轴马达，驱动主轴，主轴壳体，容纳主轴及主轴马达；及升降机构，使主轴壳体升降。加工装置还具有：冷却流体通路，包括：设于主轴壳体中的冷却流体工作通路、向冷却流体工作通路供给冷却流体的冷却流体供给通路以及自冷却流体工作通路排出冷却流体的冷却流体排出通路；及流量检测器，设于冷却流体通路，检测冷却流体的流量；在利用流量检测器检测到的冷却流体的流量在规定值以下时，主轴马达的旋转停止，从而使主轴的旋转停止。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910871632.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：断路器
- 下一篇：一种用于发动机的油底壳
