[发明专利]基于聚合物布洛赫表面波的太赫兹气体传感器在审
| 申请号： | 201910872328.5 | 申请日： | 2019-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN110763653A | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 刘强;张驰;欧阳征标 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/25 |
| 代理公司： | 44288 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 贺红星 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于聚合物布洛赫表面波的太赫兹气体传感器，该基于聚合物布洛赫表面波的太赫兹气体传感器包括自下而上依次连接的光栅层、缺陷层、光子晶体层、基底层。光栅层间隔设置于缺陷层的一侧，置于被测气体环境中；缺陷层的另一侧与光子晶体结构的一侧连接与被测气体接触；光子晶体结构的另一侧与基底层连接；光子晶体结构由大于或等于9层的周期排列的两种聚合物材料制成；基底层同样由聚合物材料制作(材料的选择详见正文)。本发明通过测量谐振峰在频谱或角谱的偏移来获得被测气体的折射率变化量，仿真结果表明其典型的频率灵敏度高达4.682THz/RIU，角度灵敏度高达132.11°/RIU。本发明所使用的结构简单，材料的制备和器件的制作成本明显低于基于石墨烯或半导体硅的太赫兹气体传感器，灵敏度指标优于基于半导体硅的太赫兹气体传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 气体传感器 光子晶体结构 被测气体 基底层 缺陷层 聚合物材料 半导体硅 聚合物 表面波 光栅层 折射率变化量 光子晶体层 角度灵敏度 灵敏度指标 频率灵敏度 测量谐振 仿真结果 间隔设置 依次连接 周期排列 石墨烯 偏移 角谱 频谱 制备 制作 | ||
【主权项】：
1.一种基于聚合物布洛赫表面波的太赫兹气体传感器，包括自下而上依次连接的光栅层、缺陷层、光子晶体结构及基底层，其特征在于：所述光栅层间隔设置于所述缺陷层的一侧，所述缺陷层的另一侧与光子晶体结构的一侧连接，所述光子晶体结构的另一侧与基底层连接，所述光子晶体结构由聚合物材料制成。/n
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