[发明专利]传感器装置有效
| 申请号： | 201910873433.0 | 申请日： | 2015-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110470731B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 小林京平 | 申请（专利权）人： | 京瓷株式会社 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/22;G01N29/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 柯瑞京 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种能够以良好的高灵敏度来测定检体的传感器装置。传感器装置(100)，具备：元件基板(10a)；检测部(10b)，具有位于元件基板(10a)的上表面的反应部(13)、第一IDT电极(11)和第二IDT电极(12)，所述反应部(13)具有固定化膜(13a)并进行检体的检测，所述第一IDT电极(11)产生朝向反应部(13)传播的弹性波，所述第二IDT电极(12)接收通过了反应部(13)的弹性波；以及保护膜(28)，覆盖第一IDT电极(11)和第二IDT电极(12)，在元件基板(10a)中，与第一IDT电极(11)和第二IDT电极(12)所位于的区域相比，反应部(13)所位于的区域更低。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 装置 | ||
【主权项】：
1.一种传感器装置，具备：/n元件基板；/n检测部，具有位于所述元件基板的上表面的反应部、第一IDT电极以及第二IDT电极，所述反应部具有固定化膜且进行被检测物的检测，所述第一IDT电极产生朝向所述反应部传播的弹性波，所述第二IDT电极接收通过了所述反应部的所述弹性波；以及/n保护膜，覆盖所述第一IDT电极和所述第二IDT电极，/n在所述元件基板的上表面，与所述第一IDT电极和所述第二IDT电极所位于的区域相比，所述反应部所位于的区域更低。/n
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